2011年1月17日下午，由“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項(xiàng)（以下簡稱集成電路裝備專項(xiàng)）領(lǐng)導(dǎo)小組辦公室主任戴國強(qiáng)、實(shí)施管理辦公室主任梁勝、總體專家組組長葉甜春和副組長王曦院士帶隊(duì)的檢查組一行20余人到清華大學(xué)檢查其承擔(dān)的集成電路裝備專項(xiàng)工作進(jìn)展情況。此次檢查對于確保清華承擔(dān)的集成電路裝備專項(xiàng)項(xiàng)目課題按計(jì)劃全面有序?qū)嵤┚哂兄匾饬x。

　　清華大學(xué)副校長康克軍向檢查組匯報(bào)了學(xué)校科技重大專項(xiàng)的組織管理以及承擔(dān)的集成電路裝備專項(xiàng)項(xiàng)目課題總體實(shí)施情況。精儀系朱煜教授、路新春教授、微電子所許軍教授等12人分別匯報(bào)了此次檢查的12個項(xiàng)目（課題或子課題）的進(jìn)展情況。

　　檢查組專家認(rèn)真聽取了匯報(bào)，與參會課題成員進(jìn)行了座談交流，并現(xiàn)場檢查了各課題的階段成果。葉甜春組長代表檢查組充分肯定了清華對科技重大專項(xiàng)的組織管理工作，對清華承擔(dān)的集成電路裝備專項(xiàng)課題所取得的標(biāo)志性成果高度贊賞。戴國強(qiáng)主任表示，清華大學(xué)為推動集成電路裝備專項(xiàng)的實(shí)施做了大量卓有成效的工作，所取得的成果對于推動產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要作用。葉甜春組長和戴國強(qiáng)主任也對今后如何進(jìn)一步加強(qiáng)科技重大專項(xiàng)的組織管理、深化研究、加強(qiáng)隊(duì)伍建設(shè)、注重研究成果與產(chǎn)業(yè)界的深度結(jié)合等提出了建議。清華大學(xué)科研院、精儀系、計(jì)算機(jī)系主、微電子所等相關(guān)負(fù)責(zé)人30余人參加會議。