2010年10月22日，第七次“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大科技專項領導小組工作會議在北京召開，科技部曹健林副部長、北京市茍仲文副市長、工信部楊學山副部長及發(fā)改委、財政部、教育部、工信部、中科院和上海市、北京市的相關部門領導參加了會議?？傮w專家組葉甜春組長和專家咨詢委馬俊如主任列席會議。

　　會議對專項2010年工作進行了總結，通報了2010年監(jiān)督評估組對專項監(jiān)督評估的意見和建議，充分肯定了專項的工作進展和取得的成績。根據監(jiān)督評估組的意見，會議研究形成了下一步工作的整改措施，對2011年工作進行了安排，原則同意成立專項用戶委員會。

　　曹健林副部長在代表專項領導小組對會議進行的總結中提出，作為唯一由地方政府牽頭負責的重大專項，監(jiān)督評估組對專項一年來的工作給予了充分肯定；專項在下一步的組織實施工作中，要繼續(xù)努力，做好頂層設計；要狠抓落實，圍繞戰(zhàn)略性新興產業(yè)的發(fā)展，進一步明確目標；要加強產業(yè)鏈上中下游的相互結合，并在關鍵技術上取得較大突破；要積極推進機制體制的探索和人才隊伍培養(yǎng)；要加強技術創(chuàng)新、技術集成和國際合作，充分重視知識產權工作；要做好各項組織協(xié)調和支撐服務工作，高效率、高質量地推進專項的組織實施。