單頻射頻電源系列主要技術(shù)參數(shù)指標
PCB抄板,即在已經(jīng)有電子產(chǎn)品實物和電路板實物的前提下,利用反向研發(fā)技術(shù)手段對電路板進行逆向解析,將原有產(chǎn)品的PCB文件、物料清單(BOM)文件、原理圖文件等技術(shù)文件以及PCB絲印生產(chǎn)文件進行1:1的還原,然后再利用這些技術(shù)文件和生產(chǎn)文件進行PCB制板、元器件焊接、飛針測試、電路板調(diào)試,完成原電路板樣板的完整復(fù)制。
作為射頻驅(qū)動等離子體系統(tǒng)的電源,可應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè),包括:刻蝕、RIE、平行板、ICP、射頻濺射、CVD和PVC等系統(tǒng)、等離子清洗、PECVD、板條射頻激光源、醫(yī)療美容,也可以作為工業(yè)系統(tǒng)中感應(yīng)加熱和電介質(zhì)加熱設(shè)備的電源。
產(chǎn)品特點:
●固態(tài)設(shè)計使得電源具有長壽命、維護成本低等優(yōu)點
●“AB”類放大器設(shè)計保證了電源工作的穩(wěn)定性
●在高駐波比工況下,可以保證產(chǎn)品一致性的控制電路
●寬頻帶、低Q值線纜設(shè)計抑制了自激振蕩和波動
主要技術(shù)參數(shù)指標:
●頻率穩(wěn)定度:≤± 0.005%
●功率穩(wěn)定度:≤±0.5%
●承受駐波比:VSWR ≤2.0
●諧波輸出:二次諧波低于-40dBc,三次及更高次諧波低于-50dBc
●噪音輸出:低于-40dBc
●環(huán)境溫度: 0~45 ℃ (不結(jié)露)
●相對濕度: <85%
射頻電源保護:
●過熱保護、駐波保護、過壓保護、過流保護